北周武帝天和元年（公元566年）置北川县，因县西北有北川城而得名；一说汶川又称北川，因此得名。唐太宗贞观八年年析北川县地置石泉县，唐高宗永徽二年（公元651年），并北川县入石泉县。1914年，因与陕西省石泉县同名，乃复名北川县。
　　2003年7月6日，国务院（国函[2003]75号）批准撤同意销北川县，设立北川羌族自治县。　　
　　？年，北川县辖3个镇、2个乡、11个民族乡，278个村：曲山镇、擂鼓镇、通口镇、香泉乡、桂溪乡、陈家坝羌族乡、都贯羌族乡、禹里羌族乡、漩坪羌族乡、白坭羌族乡、小坝羌族藏族乡、开坪羌族藏族乡、片口羌族藏族乡、坝底羌族藏族乡、白什羌族藏族乡、青片羌族藏族乡。
　　2000年，北川县辖3个镇、2个乡、11个民族乡。根据第五次人口普查数据：总人口160301人，其中各乡镇人口（人）：曲山镇：21513、擂鼓镇：18009、通口镇：7595、香泉乡：7845、陈家坝羌族乡：12879、桂溪乡：11644、都贯羌族乡：6598、禹里羌族乡：14186、漩坪羌族乡：9364、白坭羌族乡：4842、小坝羌族藏族乡：15652、片口羌族乡：6872、开坪羌族藏族乡：3875、坝底羌族藏族乡：11603、白什羌族藏族乡：3618、青片羌族藏族乡：4206。
　　2004年5月28日，四川省人民政府（川府民政[2004]19号）同意北川羌族自治县原禹里、漩坪、白坭、片口、墩上、马槽、陈家坝、贯岭、都坝9个羌族乡分别更名为禹里乡、漩坪乡、白坭乡、片口乡、墩上乡、马槽乡、陈家坝乡、贯岭乡、都坝乡。原小坝、开坪、坝底、白什、青片5个羌族藏族乡分别更名为小坝乡、开坪乡、坝底乡、白什乡、青片乡。原桃龙羌族藏族乡更名为桃龙藏族乡。
　　2004年底，北川羌族自治县辖3个镇（曲山、擂鼓、通口）、16个乡（桂溪、香泉、贯岭、禹里、坝底、小坝、片口、白什、开坪、都坝、马槽、墩上、青片、漩坪、白坭、陈家坝）、1个民族乡（桃龙藏族）。